Дослідження вольт-амперних характеристик дротяної електронної гармати Пірса для електронно-променевої мікрообробки діелектриків - Коваленко, Юрій Іванович; Бондаренко, Максим Олексійович; Антонюк, Віктор Степанович (Технічна інженерія, 2020)
Розглянуто основні енергетичні характеристики дротяної електронно-променевої гармати Пірса, що використовується для мікрообробки діелектричних матеріалів у вакуумі. Досліджено режими роботи такої гармати залежно від їх енергетичних характеристик. Встановлено, що за фіксованої ширини анодної щілини у 2,0 мм можна реалізувати основні технологічні режими низькоенергетичної ЕПМО діелектриків (у тому числі оптичного скла). Проведено порівняння результатів електронно-променевої мікрообробки діелектриків з результатами їх лазерної поверхневої обробки. Встановлено зменшення залишкових мікронерівностей поверхні для оптичного скла К8 до 26 разів за електронно-променевої мікрообробки (ЕПМО) та до 14 разів за поверхневої лазерної обробки. Показано, що обробка електронним потоком стрічкової форми на відміну від поверхневої лазерної обробки дозволяє повністю усунути хвилястість оптичної поверхні. На прикладі пластин з оптичного скла К8 доведено, що електронно-променева мікрообробка поверхонь діелектричних матеріалів дозволяє підвищити відтворюваність результатів такої мікрообробки за чистотою та залишковим нанорельєфом на 18…25 %.