Melnychuk PP, Rudnitskyi VA. Високочастотна плазма при атмосферному тиску як засіб осадження тонких плівок. ten [інтернет]. 11, Грудень 2019 [цит. за 26, Квітень 2024];(2(84):36-42. доступний у: http://ten.ztu.edu.ua/article/view/186558