Голозубов АЛ. Підвищення експлуатаційних властивостей тонкоплівкових кремнійвмісних покриттів за рахунок оптимізації роботи системи газового живлення плазмохімічної установки. ten [інтернет]. 16, Червень 2021 [цит. за 17, Липень 2024];(1(87):4-8. доступний у: http://ten.ztu.edu.ua/article/view/234343