MELNYCHUK, P. P.; RUDNITSKYI, V. A. Високочастотна плазма при атмосферному тиску як засіб осадження тонких плівок. Технічна інженерія, [S. l.], n. 2(84), p. 36–42, 2019. DOI: 10.26642/ten-2019-2(84)-36-42. Disponível em: http://ten.ztu.edu.ua/article/view/186558. Acesso em: 25 квіт. 2024.