Melnychuk, P. P., & Rudnitskyi, V. A. (2019). Високочастотна плазма при атмосферному тиску як засіб осадження тонких плівок. Технічна інженерія, (2(84), 36–42. https://doi.org/10.26642/ten-2019-2(84)-36-42