[1]
Melnychuk, P.P. і Rudnitskyi, V.A. 2019. Високочастотна плазма при атмосферному тиску як засіб осадження тонких плівок. Технічна інженерія. 2(84) (Груд 2019), 36–42. DOI:https://doi.org/10.26642/ten-2019-2(84)-36-42.