DOI: https://doi.org/10.26642/ten-2020-1(85)-53-59

Дослідження вольт-амперних характеристик дротяної електронної гармати Пірса для електронно-променевої мікрообробки діелектриків

Юрій Іванович Коваленко, Максим Олексійович Бондаренко, Віктор Степанович Антонюк

Анотація


Розглянуто основні енергетичні характеристики дротяної електронно-променевої гармати Пірса, що використовується для мікрообробки діелектричних матеріалів у вакуумі. Досліджено режими роботи такої гармати залежно від їх енергетичних характеристик. Встановлено, що за фіксованої ширини анодної щілини у 2,0 мм можна реалізувати основні технологічні режими низькоенергетичної ЕПМО діелектриків (у тому числі оптичного скла).
Проведено порівняння результатів електронно-променевої мікрообробки діелектриків з результатами їх лазерної поверхневої обробки. Встановлено зменшення залишкових мікронерівностей поверхні для оптичного скла К8 до 26 разів за електронно-променевої мікрообробки (ЕПМО) та до 14 разів за поверхневої лазерної обробки. Показано, що обробка електронним потоком стрічкової форми на відміну від поверхневої лазерної обробки дозволяє повністю усунути хвилястість оптичної поверхні.
На прикладі пластин з оптичного скла К8 доведено, що електронно-променева мікрообробка поверхонь діелектричних матеріалів дозволяє підвищити відтворюваність результатів такої мікрообробки за чистотою та залишковим нанорельєфом на 18…25 %.

Ключові слова


електронно-променева гармата Пірса; вольт-амперні характеристики; електронно-променева мікрообробка; діелектричні матеріали

Повний текст:

PDF

Посилання


Kanashevich, G.V., Vaschenko, V.A., Lukashenko, V.M. and other (2002), «Optoelektronika i mikrooptyka – perspektyvni haluzi nauky i tekhniky», Visnyk Cherkas'kogo derzhavnogo tehnologichnogo universytetu, No. 2, pp. 52–62.

Kanashevich, G.V. (2005), «Micro-treatment of surfaces of plates made of optical glass with a low-power electronic stream of a band form», The 7th World Congress on Recovery, Recycling and Reintegration & China International 3R Exhibition, Beijing, China, Sept. 25–29, 7 p.

Antonyuk, V.S., Kovalenko, Yu.I., Bondarenko, Yu.Yu. and Bondarenko, M.O. (2015), «Pidvyshchennia mikrotverdosti ta znosostiikosti poverkhon elementiv vyrobiv z optychnoho skla mikroobrobkoiu elektronnym potokom u vakuumi», Visnyk Zhytomyrskoho derzhavnoho tekhnolohichnoho universytetu, Seriia Tekhnichni nauky, ZhDTU, Zhytomyr, No. 1 (72), pp. 3–8.

Gaidash, R., Ralchenko, S., Medyanyk, V. and Bondarenko, M. (2018), «Control of spatial characteristics of the ribbon-shaped electron stream in the process of processing optical coverings of optoelectronics products», Machines. Technologies. Materials, Vol. 12, Issue 10, pp. 398–401.

Bondarenko, M., Antonyuk, V., Kovalenko, Yu. and other (2018), «Research of Volt-Ampere Characteristics of the Wire Pierce Electron Gun at Electron-Beam Microprocessing of Dielectrics», Ukrainian Journal of Mechanical Engineering and Materials Science, Vol. 4, No. 1, pp. 58–64.

Kovalenko, Yu.I., Rud, M.P., Bondarenko and other (2012), «Doslidzhennia ta formuvannia strichkovoho elektronnoho potoku dlia mikroobrobky poverkhon materialiv», Novi materialy i tekhnolohii v metalurhii ta mashynobuduvanni, ZNTU, Zaporizhzhia, No. 2, pp. 58–63.

Kanashevich, G.V. and Konopalceva, L.I. (2006), «Superficial micro- and nanostructures in optical glass, which were formed by band electronic stream», Clusters and Nanostructured materials (CNM’2006), materials of International meeting, «Karpaty», Uzhgorod, Ukraine, October 9–12, 2006, pp. 2–8.

Kovalenko, Yu.I., Antonyuk, V.S. and Polonskiy, L.G. (2019), «Issledovanie raspredelenija enerhii v zone dejstvija lentochnoho elektronnoho potoka», Perspektyvy rozvytku mashynobuduvannia ta transportu – 2019, zb. tez dopovidei I Mizhnarodnoi naukovo-tekhnichnoi konferentsii, 13–15 travnia 2019 r., PP «TD «Edelveis i K», Vinnytsia, pp. 295–296.


Пристатейна бібліографія ГОСТ


  1. Оптоелектроніка і мікрооптика – перспективні галузі науки і техніки / Г.В. Канашевич, В.А. Ващенко, В.М. Лукашенко та ін. // Вісник ЧДТУ. – 2002. – № 2. – С. 52–62.
  2. Kanashevich G.V. Micro-treatment of surfaces of plates made of optical glass with a low-power electronic stream of a band form / G.V. Kanashevich // The 7th World Congress on Recovery, Recycling and Reintegration & China International 3R Exhibition, Beijing, China, Sept. 25–29, 2005. – 7 р.
  3. Підвищення мікротвердості та зносостійкості поверхонь елементів виробів з оптичного скла мікрообробкою електронним потоком у вакуумі / В.С. Антонюк, Ю.І. Коваленко, Ю.Ю. Бондаренко, М.О. Бондаренко // Вісник Житомирського державного технологічного університету. Серія : Технічні науки. – Житомир : ЖДТУ, 2015. – № 1 (72). – С. 3–8.
  4. Control of spatial characteristics of the ribbon-shaped electron stream in the process of processing optical coverings of optoelectronics products / R.Gaidash, S.Ralchenko, V.Medyanyk, M.Bondarenko // Machines. Technologies. Materials. – 2018. – Vol. 12, Issue 10. – P. 398–401.
  5. Research of Volt-Ampere Characteristics of the Wire Pierce Electron Gun at Electron-Beam Microprocessing of Dielectrics / M.Bondarenko, V.Antonyuk, Yu.Kovalenko and other // Ukrainian Journal of Mechanical Engineering and Materials Science. – 2018. – Vol. 4, № 1. – P. 58–64.
  6. Дослідження та формування стрічкового електронного потоку для мікрообробки поверхонь матеріалів / М.П. Рудь, М.О. Бондаренко, Ю.І. Коваленко та ін. // Нові матеріали і технології в металургії та машинобудуванні. – Запоріжжя : ЗНТУ, 2012. – № 2. – С. 58–63.
  7. Kanashevich G.V. Superficial micro- and nanostructures in optical glass, which were formed by band electronic stream / G.V. Kanashevich, L.I. Konopalceva // Clusters and Nanostructured materials (CNM’2006) : materials of International meeting, Uzhgorod, «Karpaty», Ukraine, October 9–12, 2006. – P. 2–8.
  8. Коваленко Ю.І. Исследование распределения энергии в зоне действия денточного электронного потока / Ю.І. Коваленко, В.С. Антонюк, Л.Г. Полонский // Перспективи розвитку машинобудування та транспорту – 2019 : зб. тез доповідей І Міжнародної науково-технічної конференції, 13–15 травня 2019 р. – Вінниця : ПП «ТД «Едельвейс і К», 2019. – С. 295–296.


Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Copyright (c) 2020 Юрій Іванович Коваленко, Максим Олексійович Бондаренко, Віктор Степанович Антонюк

Ліцензія Creative Commons
Це видання ліцензовано за ліцензією Creative Commons Із Зазначенням Авторства - Некомерційна 4.0 Міжнародна.